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高纯氧气是一种无色无臭无味气体，分子式是O2。
纯度≥99.995%。尘埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L，杂质含量N2≤10 cm3/m3，Ar≤5cm3/m3，H2O≤lcm3/m3，CO2≤0.5cm3/m3。无色无臭无味气体。氧不可燃，但助燃。相对密度ds(21.1℃，空气=1)1.105。气体密度1.326kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液体密度1141kg/m3(- 182.96℃)。 沸点- 182.96℃。熔点-218.78℃。
高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。所有的氧化反应和燃烧过程都需要氧，例如炼钢时除硫、磷等杂质，氧和乙炔混合气燃烧时温度高达3500℃，用于钢铁的焊接和切割。玻璃制造、水泥生产、矿物焙烧、烃类加工都需要氧。液氧还用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。
